Volframoksiidi õhukese õhu aurustamismeetod

Sputtereerimine tähendab tahkete pindade (sihtmärkide) energeetilist osakeste pommitamist, tahked aatomid (või molekulid) eralduvad pinnalt ja kantakse substraadile. See on mingi füüsiline aurude sadestumine. Positiivse ioonpihustuse tekitab gaaslahendus suure kiirusega pommitamise elektriväljas kui katoodi sihtmärk, aatomite või molekulide sihtmärkide poolt tekitatud sihtmärk tekitab hooguülekande, nii et sihtpinna aatomid või molekulid põgenevad ja järved toode jõuab soovitud kile moodustamiseks töödeldava tooriku pinnale.

Sputtereerimismeetod on jagatud alalisvoolu pihustamismeetodiks, RF-pihustamiseks, magnetroni pihustamiseks, reaktiivseks sputterimiseks, vahepealse sputtereerimisimpulssi pihustamiseks, eelpingutamiseks, ioonkiire pihustamiseks jms. Magnetronpihustamisega seotud sadestuskiirus on kõrge ja madala rõhuga töötav gaas ning muud ainulaadsed eelised muudavad selle kõige levinumaks pihustussadestamise meetodiks.

WP3 õhukese kile valmistamiseks kasutatakse laialdaselt RF-pihustamise ja magnetroni pihustamismeetodeid. Sputtereerimismeetodil valmistatud volframoksiidi õhuke kile eeliseks on kiire kilet moodustav kiirus, kõrge puhtusaste, kõrge tihedus ja hea sidumine ja tugevus jne. Reguleerides atmosfäärirõhku ja temperatuuri, et saavutada kõrge jõudlusega WO3 õhuke kile, kuid protsess on liiga keeruline kontrollida, valmistatud õhukese kile paksus on ebaühtlane, kõrge tootmiskulu piirab selle rakendamist.