Wolframoxid-Dünnfilm

Dünnfilmmaterial hat optische Eigenschaften, elektrische Eigenschaften, magnetische Eigenschaften, chemische Eigenschaften, mechanische Eigenschaften, thermische Eigenschaften. Es wird in vielen Bereichen eingesetzt, beispielsweise als elektrischer Dünnfilm, optischer Dünnfilm, harter Film, Korrosionsbeständigkeit Film, Schmierfilm, Dekorationsfilm und Verpackungsfilm. Unter diesen hat Wolframoxid-Dünnfilm viele Eigenschaften wie Elektrochromie, Photochromie, Gasochromie. Wolframoxiddünnschicht wird als intelligentes Fenster, Gassensor und PH-Meter verwendet. Wolframoxid-Dünnfilmmaterial wurde seit den 1960er Jahren untersucht, insbesondere im Bereich der Elektrochromie, der Photochromie und der Gasochromie, und es wurde ein großer Erfolg erzielt.

Heutzutage konzentrieren sich immer mehr Wissenschaftler auf die Untersuchung der Gasempfindlichkeit von Wolframoxiddünnfilmen. Es hat ein großes Anwendungspotenzial in Bezug auf die Wasserstoffempfindlichkeit. Wenn der dotierte Wolframoxid-Dünnfilm mit Wasserstoff in Kontakt kommt, wechselt er von farblos nach blau. Wissenschaftler forschen immer noch an diesen Veränderungen. Wolframoxiddünnfilme können auch als Gassensormaterial verwendet werden, nicht nur für Wasserstoff, sondern auch für andere empfindliche Gase wie NH4 、 NO2 、 H2S 、 O3 、 O2, nachdem sie mit Au, Pt, Pb, Ag, Mo3 usw. dotiert wurden auf.

Zu den Verfahren zur Herstellung eines Wolframoxiddünnfilms gehören: Verdampfungsverfahren, Sputterverfahren, Sol-Gel-Verfahren, Elektronenverdampfungsverfahren, chemisches Dampfabscheidungsverfahren, thermisches Sprühabscheidungsverfahren, elektrochemisches Abscheidungsverfahren usw. Die meisten dieser Verfahren erfordern eine komplexe Technik , so ist es noch in der Forschung. Das Zerstäubungsverfahren und das Verdampfungsverfahren sind stabiler, zweckmäßiger und schneller, der erhaltene dünne Film ist gleichmäßig. Das Sol-Gel-Verfahren ist weniger kompliziert, es ist kostengünstig und kann bei niedrigen Temperaturen hergestellt werden, hohe chemische Gleichförmigkeit (das dotierte Material wird auch in dünnen Filmen verteilt), die Form des dünnen Filmmaterials ist vielfältig. Daher werden Verdampfungsverfahren, Sputterverfahren und Sol-Gel-Verfahren in weitem Umfang verwendet.