Película delgada de óxido de tungsteno

El material de película delgada tiene propiedades ópticas, propiedades eléctricas, propiedades magnéticas, propiedades químicas, propiedades mecánicas, propiedades térmicas, se aplica ampliamente en muchos campos, como el uso de película delgada eléctrica, película delgada óptica, película dura, resistencia a la corrosión Película, película lubricante, película decorativa y película de embalaje. Entre las cuales la película delgada de óxido de tungsteno tiene muchas propiedades como el electrocromismo, el fotocromismo, el gasocromismo. La película delgada de óxido de tungsteno se aplica como ventana inteligente, sensor de gas y medidor de pH. El material de película delgada de óxido de tungsteno se ha estudiado desde la década de 1960, especialmente la investigación en electrocromismo, fotocromismo, gasocromismo y ha logrado un gran éxito.

En la actualidad, cada vez más científicos se centran en el estudio de la sensibilidad a los gases de la película delgada de óxido de tungsteno. Tiene un gran potencial de aplicación en la sensibilidad al hidrógeno. Cuando la película delgada de óxido de tungsteno dopado se pone en contacto con el hidrógeno, cambia de incolora a azul. Los científicos todavía están investigando estos cambios. También la película delgada de óxido de tungsteno tiene el potencial de usar como material sensor de gas, no solo para el hidrógeno, sino también para otros gases sensibles como NH4 、 NO2 、 H2S 、 O3 、 O2 después de dopados con Au, Pt, Pb, Ag, Mo3 y así en.

Los métodos para producir película delgada de óxido de tungsteno incluyen: método de evaporación, método de pulverización catódica, método de sol-gel, método de evaporación de electrones, método de deposición química de vapor, método de deposición térmica, método de deposición electroquímica, etc. La mayoría de estos métodos requieren una técnica compleja , por lo que todavía está bajo investigación. El método de pulverización y el método de evaporación son más estables, convenientes, rápidos, la película delgada obtenida es uniforme. El método de sol-gel es menos complicado, es de bajo costo, se puede sintetizar a baja temperatura, alta uniformidad química (el material dopado se extiende incluso en película delgada), la forma del material de película delgada es la diversidad. Por lo tanto, el método de evaporación, el método de sputtering y el método sol-gel se usan ampliamente.