酸化タングステン膜

フィルム材料は、光学的性質、電気的性質、磁気的性質、化学的性質、機械的性質、熱的性質を有し、フィルム材料は様々な性質を有するので、例えば電気フィルム、光学フィルム、硬質フィルム、耐食性として多くの分野で使用されている。フィルム、潤滑フィルム、加飾フィルム、包装用フィルムなど多くの薄膜材料の中で、三酸化タングステン膜は、エレクトロクロミズム、ガスクロミズム、フォトクロミズム、サーモクロミズム、および良好な電気化学的性質などの様々な性質を有しており、三酸化タングステン膜が得られている。スマートカラーウィンドウ、ガスセンサー、PHメーターなどのように広く使用されています。 1960年代には、三酸化タングステン薄膜材料、特にエレクトロクロミズム、フォトクロミズム、電気化学などの特性に関する研究が行われ、驚くべき結果が得られました。

ますます多くの科学者が三酸化タングステン膜のガス検知特性に注目しています。水素検知特性に関して、ドープされた三酸化タングステン膜が水素と接触しているときの最も直観的な変化は膜が無色から青に変化することであり、科学者はこの直感的な変化を知っているので三酸化タングステン薄膜は大きな可能性を有する。定量的測定は研究中です。同時に、三酸化タングステン膜は、広い応用可能性を有するガス検知材料であり、水素感受性材料としてだけでなく、異なる元素をドープした後の異なる条件下でのＮＨ ４、ＮＯ ２およびＨ ２ Ｓのような他のガスとしても使用できる。 、Ｏ ３、Ｏ ２および他の敏感な物質。例えば、Ａｕをドーピングすると硫化水素ガスに対する三酸化タングステン膜のガス感度を向上させることができ、パラジウムまたは白金をドーピングすると水素に対する三酸化タングステン膜のガス感度を向上させることができる。感度;金と三酸化モリブデンをドーピングすると、アンモニアに対する三酸化タングステン膜のガス感度を向上させることができます。

これまで多くの科学者が三酸化タングステン薄膜の研究を行ってきましたが、三酸化タングステン薄膜の製造方法には蒸着、スパッタリング、ゾル - ゲル法、電子ビーム蒸着、化学蒸着などがあります。方法、陽極酸化法、スプレー熱分解法、分子線エピタキシー法、原子層エピタキシャル成長法、電着法、パルスエキシマレーザー蒸着法、イオンプレーティング法など、その多くは技術的に複雑であり、プロセス条件が厳しく、用途が限られている。 。スパッタリング法および蒸着法は、安定性、簡便性、迅速性、均一な膜などの利点を有する。ゾル - ゲル法は、工程が簡単で、低コスト、低温合成が可能であり、化学的に均一性が高い。 （フィルム中のドーパントのより良好な均一分布を含む）、材料形状の多様性など、そのため現在蒸着法、マグネトロンスパッタリング法、ゾルゲル法が使用されている。