Tungsten Oksit İnce Film Buhar Buharlaşma Yöntemi

Püskürtme, katı yüzeylerin (hedeflerin), katı atomların (veya moleküllerin) enerjik parçacık bombardımanını yüzeyden yaydığı ve substrat üzerine biriktirildiği anlamına gelir. Bir tür fiziksel buhar biriktirmedir. Pozitif iyon püskürtme, bir katod hedefi olarak yüksek hızlı bombardımanın elektrik alanındaki bir gaz boşalması tarafından üretilir, çarpışmalarla atomun veya molekülün hedefi, hedef yüzey atomlarının veya moleküllerinin kaçması ve göllere çarpması için momentum transferi oluşturur. istenen filmi oluşturmak için iş parçası yüzeyinin kaplanması.

Püskürtme yöntemi, doğru akım püskürtme yöntemi, RF püskürtme, manyetik alan püskürtme, reaktif püskürtme, ara frekans püskürtme püskürtme, bias püskürtme, iyon ışını püskürtme ve benzerlerine ayrılmıştır. Magnetron püskürtme ile biriktirme oranı, yüksek ve düşük basınçlı çalışma gazıdır ve diğer benzersiz avantajları, püskürtme püskürtme biriktirme işleminde en yaygın kullanılan yöntem haline gelir.

RF püskürtme ve magnetron püskürtme yöntemi, Ww3 ince filmi üretmek için yaygın olarak uygulanır. Püskürtme yöntemiyle hazırlanan tungsten oksit ince film, hızlı film oluşturma hızı, yüksek saflık, yüksek yoğunluk ve iyi bağlanma ve mukavemet vb. Avantajlara sahiptir. Yüksek performanslı W03 ince film elde etmek için atmosfer basıncını ve sıcaklığını kontrol ederek, ancak işlemi Kontrol için çok karmaşık, hazırlanan ince filmin kalınlığı dengesiz, yüksek üretim maliyeti uygulamayı sınırlıyor.