Gassensor

Er zijn veel soorten gassensoren, vanwege de verschillende vormen van de werkstructuur tussen gas en materiaal, de fysische, chemische en biologische reactie zijn ook verschillend, dus de classificatiemethoden zijn verschillend, per type gas: zuurstofsensorcomponent, ammoniumdetectiecomponent en alcoholwaarnemingscomponent; op basis van materiaal: metaaloxide, halfgeleider van organisch polymeer, vaste elektrolyt; door werkmethode: droog type en nat type; door structuur: gesinterd, dunne film en dikke film; door werkmechanisme: weerstandstype, capacitief type en elektrochemietype.

W03 is een soort N-structuur metaaloxide halfgeleider materiaal, wanneer het contact maakt met het testgas, verandert de weerstand die resulteert in de verandering van het outputsignaal om gassen te testen. WO3 heeft een goed gevoel voor H2S, Sox en NOx, dus het heeft een groot potentieel. Afzettingstechnologie voor dunne film van WO3 en gerelateerde depositieparameters hebben grote invloed op de gevoeligheid voor een dunne film gassensor. Vanwege de verschillende productiemethode en -conditie, zou een defecte densiteit in dunnefilmmateriaal anders zijn. Ook bij het maken van een warmtebehandeling van materiaal verandert de korrelgrootte ook, heeft dit grote invloed op de elektrische eigenschap en de reactietijd van gas voor WO3.