Macro Porous Silicon WO3 gassensor

Macro poreus silicium kan worden gemaakt door substraatmateriaal dat P-structuur is gedoteerd met enkel gepolijst oppervlak, kristaloriëntatie <111>, specifieke weerstand is 8-13Ωcm, geconfigureerd met 40% HF en absolute ethylalcohol in verhouding 1: 1 na 30 minuten elektrochemische corrosie in de dubbele groef. Wanneer de corrosie-elektriciteitsdichtheid 20,30 en 40 mA / cm2 is, is de porositeit van macro-poreus silicium 50,0%, 63,9,7% en 66,7%, hetgeen toeneemt met de elektriciteitsdichtheid. Het oppervlak van macroporeus silicium lijkt een voor de hand liggende poreuze macrostructuur te zijn. De verspreiding van macroporeus is uniform, de afmeting is 1 ~ 2um, de poriënwand is dik. W03 gesputterd op het oppervlak van macro poreus silicium onder corrosie elektriciteitsdichtheid 40 mA / cm2 bedekken niet de porie, in plaats daarvan wordt het gevuld in de zijwand van porie en wordt een continue dunne film.

De dikte van macroporeus silicium neemt toe met de toename van de dichtheid van de corrosie-elektriciteit. Poreus silicium heeft een zekere gevoeligheid ten opzichte van NH3 en NO2 bij kamertemperatuur. Macro poreus silicium wolfraamoxide dunne film heeft een vergelijkbare gevoeligheid ten opzichte van NO2 van de volumefractie 200x10-9 en NH3 van de volumefractie 20x10-6 onder zowel hoge temperatuur of lage temperatuur.