텅스텐 산화물 박막

박막 재료는 광학적 특성, 전기적 특성, 자기 적 특성, 화학적 특성, 기계적 특성, 열적 특성을 가지며 전기 박막, 광학 박막, 경질 막, 내식성 등 다양한 분야에서 널리 응용되고 있습니다. 필름, 윤활유 필름, 장식 필름 및 포장 필름. 그 중에서 산화 텅스텐 박막은 일렉트로 크로 믹, 포토 크로 믹, 가스 크로 믹 (gasochromism)과 같은 많은 성질을 가지고있다. 산화 텅스텐 박막은 스마트 윈도우, 가스 센서, PH 미터로 적용됩니다. 산화 텅스텐 박막 재료는 1960 년대부터 연구되어 왔으며, 특히 전기 변색, 포토 크로 믹, 가스 크로마 즘 (gasochromism) 분야의 연구가 대성황을 이루었습니다.

요즘 점점 더 많은 과학자들이 산화 텅스텐 박막의 가스 감도 연구에 집중하고 있습니다. 그것은 수소 감도에 큰 응용 가능성을 가지고 있습니다. 도핑 된 텅스텐 산화물 박막이 수소와 접촉하면 무색에서 파란색으로 바뀝니다. 과학자들은 여전히 ​​이러한 변화에 대한 연구를하고 있습니다. 또한, 산화 텅스텐 박막은 수소뿐만 아니라 Au, Pt, Pb, Ag, Mo3 등으로 도핑 된 NH4, NO2, H2S, O3, O2와 같은 다른 민감한 가스에 대해서도 가스 센서 재료로 사용할 수있는 가능성을 가지고있다. on.

산화 텅스텐 박막의 제조 방법으로는 증착법, 스퍼터링 법, 졸 겔법, 전자 증착법, 화학 기상 증착법, 열 분사 증착법, 전기 화학 증착법 등이있다. , 아직 연구 중이다. 스퍼터링 방법 및 증발 방법은보다 안정되고, 편리하고, 빠르며, 수득 된 박막은 균일하다. 솔 - 젤 방법은 덜 복잡하고 저온, 높은 화학적 균일 성 (도핑 된 물질은 박막에서도 확산 됨)에서 합성 될 수있는 저비용이며 박막 물질의 형상은 다양합니다. 그래서 증발 법, 스퍼터링 법, 졸 - 겔법이 널리 사용되고 있습니다.