Couche mince d'oxyde de tungstène

Le matériau de film mince a des propriétés optiques, propriétés électriques, propriétés magnétiques, propriétés chimiques, propriétés mécaniques, propriétés thermiques, il est largement appliqué dans de nombreux domaines, tels que l’utilisation comme film mince électrique, film mince optique, film dur, résistance à la corrosion film, film lubrifiant, film de décoration et film d'emballage. Parmi lesquels le film mince d'oxyde de tungstène a de nombreuses propriétés comme l'électrochromisme, le photochromisme, le gasochromisme. Un film mince d'oxyde de tungstène est appliqué en tant que fenêtre intelligente, capteur de gaz et PH-mètre. Le matériau en film mince d'oxyde de tungstène est étudié depuis les années 1960, en particulier dans les domaines de l'électrochromisme, du photochromisme et du gasochromisme. Il a remporté un vif succès.

De nos jours, de plus en plus de scientifiques se consacrent à l’étude de la sensibilité au gaz des couches minces d’oxyde de tungstène. Il a un grand potentiel d'application en sensibilité à l'hydrogène. Lorsque le film mince d'oxyde de tungstène dopé entre en contact avec l'hydrogène, il passe de l'incolore au bleu. Les scientifiques poursuivent leurs recherches sur ces changements. Un film mince d'oxyde de tungstène a le potentiel d'utiliser comme matériau de capteur de gaz, non seulement pour l'hydrogène, mais aussi pour d'autres gaz sensibles tels que NH4, NO2, H2S, O3, O2 après dopage avec Au, Pt, Pb, Ag, Mo3, etc. sur.

Les méthodes de production d'un film mince d'oxyde de tungstène comprennent: la méthode d'évaporation, la méthode de pulvérisation cathodique, la méthode sol-gel, la méthode d'évaporation d'électrons, la méthode de dépôt chimique en phase vapeur, la méthode de dépôt par pulvérisation thermique, la méthode de dépôt électrochimique, etc. , il est donc toujours en recherche. La méthode de pulvérisation et la méthode d'évaporation sont plus stables, pratiques, rapides, le film mince obtenu est uniforme. La méthode sol-gel est moins compliquée, elle est peu coûteuse et peut être synthétisée à basse température et avec une grande uniformité chimique (le matériau dopé est étalé même dans un film mince), la forme du matériau en film mince est la diversité. Ainsi, la méthode d’évaporation, la méthode de pulvérisation cathodique et la méthode sol-gel sont largement utilisées.