Gas Sensor
Det finns många typer av gasgivare, beroende på den olika arbetsstrukturformen mellan gas och material, är den fysiska, kemiska och biologiska reaktionen också annorlunda, så klassificeringsmetoderna är olika, av olika typer av gas: syrgasavkännande komponent, ammoniumavkännande komponent och alkoholavkännande komponent; med basmaterial: metalloxid, organisk polymer-halvledare, fast elektrolyt; enligt arbetsmetod: torr typ och våt typ; med struktur: sintrad, tunnfilm och tjockfilm; av arbetsmekanism: motståndstyp, kapacitiv typ och elektrokemisk typ.
WO3 är en typ av N-strukturmetalloxid-halvledarmaterial, när det kommer i kontakt med testgasen förändras motståndet vilket resulterar i förändringen av utsignalen för att testa gaser. WO3 har en bra känsla för H2S, Sox och NOx, så det har stor potential. Deponeringsteknik för WO3-tunnfilm och relaterad deponeringsparameter har stort inflytande på känsligheten för tunnfilmsgasgivare. På grund av den olika produktionsmetoden och -betingelsen skulle defekt densitet i tunnfilmsmaterial vara annorlunda. Även vid värmebearbetning av material förändras även kornstorleken, den har stor inverkan på elektrisk egenskap och reaktionstid för WO3.