Li-dopad Wolfram Oxid Thin Film

Efter dopning med litiumperklorat är tjockleken på tungstenoxid tunnfilm 270nm, egenskapen förbättrad, filmen blir jämn och tät, ytladdningstätheten ökar, ljusabsorptionsskillnad före och efter missfärgning kan nå 52,9%. Efter dopning ändras inte den kristallina temperaturen, den optimala termiska avsättningstemperaturen är fortfarande 220 grader Celsius.

Med hjälp av scanningelektronmikroskop för att zooma ytprofilen för tunnfilmprov för 5,5k gånger, är det konstaterat att tvärsnittstjockleken hos varje prov är konsekvent. Från det nedanstående diagrammet kan vi se att efter dopning med litiumperklorat är medelvärdet tjockleken på tunnfilmen är cirka 2700 nm. Jämfört med den ursprungliga tungstenoxidfilmen minskar defekten på ytan av tunn film, porerna försvinner nästan, dess densitet förbättras i stor utsträckning. Ta det nedre diagrammet som exempel, vilket tydligt kan visa ytan av tungstenoxid tunn film efter dopning med litiumperklorat. Nr 9 prov har goda tydliga täta, men det finns för många vita partiklar, det kan orsakas av utfällning av litiumperklorat under dopningsprocessen. Nr 10 provet har inga vita partiklar, men det finns några små porer och sprickor på filmen. Det betyder att förhållandet är ojämnt. Ytan på prov 15 har en slät yta och det finns ingen uppenbar återstod, ytan är stor.