Macro Porous Silicon WO3 Gas Sensor

Makro poröst kisel kan tillverkas av substratmaterial som är P-struktur dopad med enpolerad yta, kristallorientering <111>, specifikt motstånd är 8-13Ωcm, konfigurerat med 40% HF och absolut etylalkohol i förhållande 1: 1 efter 30 minuters elektrokemisk korrosion i dubbelspåret. När korrosionselektrodensiteten är 20,30 och 40mA / cm2 är porositeten hos makroporös kisel 50,0%, 63,9,7% och 66,7% vilket ökar med eltätheten. Ytan av makro poröst kisel framträder självklart makro porös struktur. Spridningen av makro porös är likformig, dimensionen är 1 ~ 2um, porväggen är tjock. WO3 sputterad på ytan av makro-poröst kisel under korrosionsdensitet 40mA / cm2 täcker inte porerna, utan fylls i sidoväggens vägg och blir kontinuerlig tunnfilm.

Tjockleken på makroporös kisel förstorar med ökningen av korrosionselektrodensitet. Porös kisel har en viss känslighet mot NH3 och NO2 under rumstemperatur. Makro porös silikonvolframoxid tunnfilm har liknande känslighet mot NO2 i volymfraktion 200 × 10-9 och NH3 med volymfraktion 20 × 10-6 under antingen hög temperatur eller låg temperatur.