מקרו נקבובי הסיליקון WO3 גז חיישן

סיליקון מאקרו נקבובי יכול להתבצע על ידי חומר מצע אשר הוא מבנה P מסוממים עם משטח מלוטש יחיד, אוריינטציה קריסטל <111>, התנגדות ספציפית הוא 8-13Ωcm, מוגדר עם HF 40% ו אתיל אלכוהול מוחלט לפי פרופורציה 1: 1 לאחר 30 דקות קורוזיה אלקטרוכימית בחריץ כפול. כאשר צפיפות החשמל קורוזיה הוא 20,30 ו 40mA / cm2, נקבוביות של סיליקון מאקרו נקבובי הוא 50.0%, 63.9.7% ו 66.7% אשר עולה עם צפיפות החשמל. פני השטח של סיליקון נקבובי מאקרו נראה ברור מאקרו מבנה נקבובי. התפשטות המאקרו נקבובי הוא אחיד, מימד הוא 1 ~ 2um, הקיר נקבוביות הוא עבה. WO3 sputtered על פני השטח של סיליקון נקבובי מאקרו תחת צפיפות חשמל קורוזיה 40mA / cm2 לא לכסות את הנקבוביות, במקום זה הוא מילא את הקיר בצד של הנקבוביות הופך סרט דק רציפה.

עובי של סיליקון מאקרו נקבובי גדל עם עלייה של צפיפות חשמל קורוזיה. סיליקון נקבובי יש רגישות מסוימת כלפי NH3 ו NO2 תחת טמפרטורת החדר. מקרו נקבובי סיליקון תחמוצת טונגסטן סרט דק יש רגישות דומה כלפי NO2 של נפח חלק 200 × 10-9 ו NH3 של נפח חלק 20 × 10-6 תחת או טמפרטורה גבוהה או טמפרטורה נמוכה.