Meso נקבובי סיליקון WO3 גז חיישן

סיליקון נקבובי נמצא בשנת 1956 על ידי מדענים במעבדות בל, כאשר הם חקרו את תהליך הליטוש של קורוזיה חמצונית. מנגנון היווצרות של חילופי מטען סיליקון נקבובי מתבצע בין פני השטח של מוליכים למחצה סיליקון לפתרון HF. על פי גדלים צמצם שונים נקבוביות ניתן לחלק לשלושה סוגים, כלומר חורים גדולים סיליקון (מאקרו- PS), סיליקה mesoporous (Meso-PS) ו nanoporous סיליקון (ננו PS).

העיקרון של חיישני גז על בסיס סיליקון נקבובי גזים שונים לשנות את המאפיינים הפיזיים של PS מבוסס. משטח סיליקון נקבובי Adorsbs גז מולקולות שינוי ריכוז הספק חינם, או עקב שינויים שנגרמו על ידי בארות גז מרוכז דיאלקטרי קבוע, גורם לשינויים מוליכות או קיבול.

להלן שיטת ייצור של חיישן גז חמצן טונגסטן נקבובי מסו:

1.Coating תהליך: תקן מצע סיליקון מסו מוכן נקבובי על בעל המדגם, ולאחר מכן להתחיל להשתמש DPS-Ⅲ סוג magnetron ואקום אולטרה גבוהה ציפוי מכונת ציפוי דק עבור מערכת ציפוי.

2.Sputtering תחמוצת טונגסטן סרט דק

3.Deposition של אלקטרודה Pd

למרות שמדובר בטמפרטורת פעולה נמוכה יותר, לא ניתן לקבל רגישות גבוהה וזמן תגובה / התאוששות נמוך בעת ובעונה אחת. זה קשור לגודל מיקרו של סיליקון נקבובי meso תחמוצת טונגסטן. Mesoporous סיליקה גודל הנקבוביות ב 30nm או פחות, ואת גודל החלקיקים WO3 לאחר חישול בסביבות 70 ננומטר, אשר הוביל את החלקיקים WO3 גבישי לאחר נקבוביות סיליקה נקבוביות נקבוביות. כאשר שכבת WO3 הוא דק, החלקיקים לאחר טיפול בחום החלו לכסות את פני השטח סיליקון mesoporous, אבל לא למלא את החללים. מבנה זה מצד אחד, אינו תורם להתפשטות של גז, אלא גם מקטין את השטח הספציפי של חיישן הגז.