Modh Taisce Ceimiceán Ocsaíd Thungstan Tintains

Is é an modh sil-leagan gaile ceimicí imoibreoirí a thabhairt isteach i ndromchla foshraithe, ar modh coiteann é chun scannán tanaí a tháirgeadh. Áirítear leis an modh foirmithe scannán tanaí atá ann faoi láthair modh sil-leagan gaile orgánach miotail (MOCVD) agus modh sil-leagan gaile ceimiceach brú íseal (LPCVD).

Is modh fáis heitrighnéascraigh é an modh sil-leagan gaile miotail orgánach, is modh éifeachtach é chun scannán tanaí ardchaighdeáin a chruthú. Anseo thíos tá an sceitse léarscáil de MOVCD. De ghnáth cuireann sé miotal orgánach i bhfeidhm de réir mar a chuirtear an fhoinse miotail, Ar, i bhfeidhm mar ghás iompróra, go príomha gáis O2 nó sruth. Tá ardcháilíocht chriostalach agus dromchla réidh ag an scannán tanaí a tháirgeann MOVCD. Tá an scannán aonfhoirmeach.

Ullmhaítear sil-leagan gaile ceimiceáin brú íseal faoi atmaisféar measartha i bhfolús (thart ar 0.1 -5torr), teocht íseal-táirgthe, is féidir é a thaisceadh ar fhoshraith i limistéar mór, tá an próiseas sil-leagain éasca le rialú, chomh maith le dromchla an scannáin tanaí thaiscthe atá cothrom.

Is gnách go n-úsáidtear modh cumaisc gáis le hidrigin agus clóiríd, nuair a bhíonn scannán tanaí ocsaíd tungstain á tháirgeadh, úsáidtear W (CO) 6 agus comhdhúil tungstain eile mar réamhtheachtaí, mar aon le adaimh W agus tá imoibriú ceimiceach ann dromchla an tsubstráit. Tá tuairiscí ann freisin go n-úsáidtear móilíní gaile orgánacha miotail speisialaithe eile chun scannáin ocsaíde tungstain a ullmhú le sil-leagan miotail ceimiceach orgánach (OMCVD), déantar deascadh gaile ceimiceach feabhsaithe Plasma (PECVD) faoi thionchar an scardála plasma, is féidir leis méadú an ráta sil-leagan scannán tanaí.

Tá an ráta taiscthe de scannán ocsaíde tungstain arna ullmhú ag CVD níos tapúla ná aon mhodh táirgthe eile, tá buntáistí ag baint le solúbthacht sa mhodh, tá an táirgeacht ard-íonachta, dea-inrialaitheacht próisis, leanúnachas próisis den scoth, ach tá an costas ró-ard agus níl sé oiriúnach do tháirgeadh tionsclaíoch.