Struchtúr Micrea-Struchtúr Tungstan Ocsaíde Thin

Tá sil-leagan scannán tanaí ag teacht as an ionsú adamhach tosaigh, as an dí-asú, as an núicléasú agus as an bhfás go dtí foirm dheiridh an scannáin, agus athróidh a phróiseas núicléithe agus fáis le paraiméadair le linn sil-leagan scannáin (teocht foshraithe, claonadh foshraithe, brú gáis) microstruchtúr tanaí scannán ocsaíde. I 1975, tháinig John A.Thomton suas le Samhlacha Crios i dtreo spréite scannáin tanaí miotail miotail, tionchar teocht an tsubstráit agus brú gáis sputtering ar mhicrea-struchtúr tanaí scannán, a tógadh suas le samhail de chrios na struchtúr.

Faoi choinníoll teocht íseal agus ardbhrú （Ts / TM ＜ 0.3 （TS: Teocht foshraithe; TM: Leáphointe), beidh an taobh istigh den scannán tanaí ina struchtúr i gcriostal tanaí sorcóireach póiriúil, mar gheall ar an tsoghluaisteacht íseal ar dhromchla an adamh. Tugtar Crios area ar an gceantar. Faoi teocht ard (0.3 （0.3 ＜ Ts / TM ＜ 0.5）, tá an tsoghluaisteacht níos airde mar gheall ar fhuinneamh teirmeach níos mó, mar thoradh ar an gcumas idirleata feabhsaithe ar an dromchla, mar sin bíonn an chriostal níos tanaí de bharr go mbíonn dromchla an scannáin tanaí níos ciúine, carntha criostalach agus foirmeacha mar struchtúr columnar, tugtar Crios Ⅱ ar an gceantar. Faoi teocht níos airde （0.5 ＜ Ts / TM）, ós rud é go bhfuil an cumas idirleata feabhsaithe, mar aon leis an gcriostal athchriosaithe, éiríonn sé ina struchtúr gráinní equ-axis, is é an limistéar Tá limistéar trasdula idir Crios Ⅰ agus Crios Ⅱ ar a dtugtar Crios T, faoi theocht íseal (TS / TM <= 0.3) agus brú íseal, carntha an criostalach i struchtúr inmheánach scannán tanaí, arb é an toradh é éifeachtaí scáthaithe, idirleathadh dromchla, mórleathadh agus athchriostalú, tá an scannán cosúil le struchtúr snáithíneach.