Modh Modhnaithe Athshonraithe Scannán Thungstan Ocsaíd Thin

Téamh foshraitheanna

Is é teocht an tsubstráit an príomhphointe le haghaidh ian a ionsúitear ar dhromchla foshraithe chun gníomhachtú, imirce agus núicléach a dhéanamh. Cinneann sé freisin an chéim den scannán tanaí. Ní féidir le scannán tanaí a thaisctear faoi theocht an tseomra cloí go daingean le foshraith. Má tá an teistíocht teochta ró-ard, thiocfadh an t-am imoibriúcháin ró-mhór agus íochtair leis an criostal den scannán tanaí. Tá na poill phóirseachta bochta i scannán tanaí WO3 agus neamh-chriostalaithe maith do leictreamaimeachas agus fótromasachas. Faoi láthair, chun scannán tanaí éagruthach a fháil, laghdaigh an chumhacht spréite, an ráta sil-leagain, agus méadaigh an brú agus laghdaigh an sputter sprice agus modhanna eile chun iarracht a dhéanamh an éifeacht téamh teasa de chuid an tsubstráit a ísliú, ionas go bhfaigheann tú éagruthach nó Stát microcrystalline struchtúr nana-scannán. Ag teocht íseal, coinníollacha brú ard, tá fuinneamh an cháithnín teagmhais íseal, tá cumas idirleata dhromchla an adaimh teoranta, tá an struchtúr tanaí scannán scaoilte.

scannán tanaí ocsaíd tungstain dópáilte

Trí dhrupáil eilimint dhifriúil, is féidir léi íogaireacht agus roghnaíocht an gháis scannán tanaí a fheabhsú, agus dá bhrí sin feabhas a chur ar a chumas mílí. Is é an dóigh a ndópáiltear scannán tanaí ocsaíd tungstain dopáil ian áirithe i dtuaslagán ocsaíd tungstain, ag baint úsáide as scannán tanaí ocsaíd tungstain mar fhoshraith chun miotail tearc-chré a sputter. Soláthraíonn imoibriú dópála measartha níos mó leictreoin nó poill, chun an seoltacht leictreach a fheabhsú, bíonn tionchar mór aige ar airíonna éagsúla an scannáin tanaí ocsaíd tungstain.

Cóireáil óilithe

Bíonn tionchar suntasach ag an teocht agus an t-atmaisféar a bhíonn ag análú le linn an annála ar airíonna scannán ocsaíd tungstain. Nuair a shroicheann an teocht anála agus an t-am annálaithe leibhéal áirithe, is féidir an scannán tanaí a bhaineann le ocsaíd tungstain éagruthach a thiontú go stát criostalach. Is féidir le héalú in atmaisféar ocsaigine folúntas ocsaigine a laghdú i scannán tanaí criostalach. Déanann Shaver taighde ar ábhar íogaireachta gáis WO3 do dhrupáil den chéad uair, úsáideann sé modh galú bhfolús chun scannán tungstain a fháil, a théitear ansin faoi 600 ~ 700 ℃ chun scannán tanaí WO3 a fháil, agus é plúchta le Pt beag chun íogaireacht W3 go H2 a fheabhsú, NH3 agus H2S. D'úsáid K.Galatsis W (OC2H5) 6 agus Mo (OC3H7) 5 mar réamhtheachtaithe, SiO2 mar fhoshraith, ag táirgeadh WO3-MoO3 trí mhodh sol-fhoirmiú, agus rinne sé staidéar ar a bhraiteoir gáis do O2.