Modh Sreangaithe Scannáin Thungstan Ocsaíd Thintain

Tagraíonn sputtering do bombardú cáithníní fuinniúla dromchlaí soladacha (spriocanna), astaítear na hadaimh sholadacha (nó móilíní) ón dromchla, agus cuirtear i dtaisce ar an bhfoshraith iad. Is cineál sil-leagan gaile fisiciúil é. Gintear sputtering dearfa ian trí urscaoileadh gáis i réimse leictreach na bombardú ardluais mar sprioc chatóide, cruthaíonn sprioc an adaimh nó na móilín trí imbhuailtí aistriú móiminteam, ionas go n-éalaíonn na hadaim dhromchla nó móilíní dromchla agus go dtéann siad i dtír a bheith plátáilte ar dhromchla an tsaothair chun an scannán inmhianaithe a chruthú.

Tá an modh spréite roinnte i modh spréite reatha, RAD sputtering, maighnéadar sputtering, sputtering imoibríoch, minicíocht idirmheánach sputtering bíog, sputtering claonadh, sputtering bhíoma ian agus a leithéidí. Is é an ráta sil-leagain ag sputtering maighnéada ardbhrú agus ag obair le gáis agus buntáistí uathúla eile a fhágann gurb é an modh deasctha sputter is mó a úsáidtear é.

Cuirtear modh sputtering agus sputtering RF i bhfeidhm go forleathan chun scannán tanaí WO3 a tháirgeadh. Scannán tanaí ocsaíd tungstain a ullmhaítear trí mhodh spréite tá na buntáistí a bhaineann le luas gasta scannánaíochta, íonacht ard, dlús ard, agus nascadh agus neart maith, srl. Tá sé róchasta le rialú, tá tiús an scannáin tanaí ullmhaithe míchothrom, cuireann an costas ard déantúsaíochta teorainn lena chur i bhfeidhm.