ماكرو مسامية WO3 الغاز الاستشعار

يمكن تصنيع السيليكون المسامي الكلي من خلال مادة الركيزة وهي عبارة عن هيكل P مخدر بسطح مصقول واحد واتجاه كريستال <111> ، ومقاومة محددة 8-13Ω سم ، مكونة بنسبة 40 ٪ HF وكحول إيثيلي مطلق بنسبة 1: 1 بعد التآكل الكهروكيميائي لمدة 30 دقيقة في الأخدود المزدوج. عندما تكون كثافة كهرباء التآكل 20-30 و 40 مللي أمبير / سم 2 ، تكون مسامية السيليكون المسامي الكلي 50.0 ٪ 、 63.9.7 ٪ و 66.7 ٪ مما يزيد مع كثافة الكهرباء. يظهر سطح السيليكون المسامي الكلي بنية مسامية كبيرة. انتشار ماكرو مسامية موحدة ، البعد هو 1 ～ 2um ، الجدار المسام سميك. لا تغطي WO3 المخفوقة على سطح السيليكون المسامي الكلي تحت كثافة كهرباء التآكل 40mA / cm2 المسام ، بل يتم ملؤه في الجدار الجانبي للمسام ويصبح غشاء رقيق مستمر.

يزداد سمك السيليكون المسامي الكلي مع ارتفاع كثافة التآكل الكهربائي. يحتوي السيليكون المسامي على حساسية معينة تجاه NH3 و NO2 تحت درجة حرارة الغرفة. غشاء التنغستن بأكسيد السيليكون الرقيق المسامي الكلي له حساسية مماثلة تجاه NO2 من الكسر بحجم 200 × 10-9 و NH3 من الكسر بحجم 20 × 10-6 إما تحت درجة حرارة عالية أو درجة حرارة منخفضة.