التنغستن أكسيد رقيقة فيلم الهيكل الصغير

تتشكل ترسبات الأغشية الرقيقة من الامتصاص الذري الأولي ، الامتصاص ، النواة والنمو إلى الشكل النهائي للفيلم ، فإن نواته وعملية النمو سيتغيران مع المعلمات أثناء ترسب الفيلم (درجة حرارة الركيزة ، تحيز الركيزة ، ضغط الغاز) والتي سوف تؤثر على التنغستن أكسيد رقيقة المجهر فيلم. في عام 1975 ، توصل John A.Thomton إلى Zone Models نحو طبقة رقيقة من الترسبات المعدنية الرقيقة ، وتأثير درجة حرارة الركيزة وضغط الغاز المتخثر على الهيكل الدقيق للغشاء الرقيق ، الذي تم إنتاجه بأربعة نماذج لمنطقة الهيكل.

تحت درجة حرارة منخفضة وحالة ضغط عالية （Ts / TM ＜ 0.3 （TS: درجة حرارة الركيزة ؛ TM: نقطة الانصهار) ، سوف يتشكل الجزء الداخلي للفيلم الرقيق في بنية بلورية أسطوانية رقيقة يسهل اختراقها ، نظرًا لأن قلة الحركة على سطح الذرة. تسمى المنطقة ZoneⅠ. تحت درجة حرارة عالية (0.3 （0.3 ＜ Ts / TM ＜ 0.5）) ، تكون الحركة أعلى بسبب زيادة الطاقة الحرارية ، مما يؤدي إلى زيادة قدرة الانتشار على السطح ، وبالتالي يصبح البللور أرق نظرًا لأن سطح الطبقة الرقيقة يصبح أكثر سلاسة ، ويتراكم البلوري وتشكل كهيكل عمودي ، تُسمى المنطقة "المنطقة". تحت درجة حرارة أعلى （0.5 ＜ Ts / TM） ، نظرًا لأن قدرة الانتشار معززة ، إلى جانب إعادة بلورة البلورية ، تصبح بنية حبيبات متساوية المحور ، وتكون المنطقة تسمى المنطقة There. توجد منطقة انتقالية بين المنطقة Zone ومنطقة Ⅱ والتي تسمى المنطقة T ، تحت درجة حرارة منخفضة (TS / TM <= 0.3) وضغط منخفض ، ويتراكم البلوري في التركيب الداخلي للغشاء الرقيق ، وهو ما ينتج عنه من آثار التظليل ، وانتشار السطح ، وانتشار السائبة وإعادة التبلور ، الفيلم يشبه الهيكل الليفي