بحث وتطوير التنغستن بأكسيد الأغشية الرقيقة

فيلم أكسيد التنغستن الرقيق هو مادة مهمة للفيلم الرقيق الوظيفي ، ولديه إمكانية تطبيق واسعة في الحياة التجارية اليومية والدفاع الوطني.

قام العديد من العلماء بإجراء بعض الأبحاث حول دراسة الأغشية الرقيقة لأكسيد التنغستن ، وتشمل طريقة إنتاجها ما يلي: طريقة التبخر ، طريقة التفلخ ، طريقة سول-جل ، طريقة تبخير الإلكترون ، طريقة ترسيب التبخر الكيميائي ، عملية أكسدة أنوديك ، طريقة الانحلال الحراري بالرش ، طريقة حبيبات الحزمة الجزيئية ، طريقة ترسب الإلكترون ، طريقة ترسيب الأيونات ، إلخ. معظم الطرق معقدة ويصعب معالجتها. لكن طريقة الاخرق وطريقة التبخر مستقرة ، مريحة ، فيلم سريع ورقيق موحد. طريقة إنتاج Sol-gel سهلة الإنتاج ، وتكلفة الإنتاج منخفضة ، ويتم تصنيعها تحت درجة حرارة منخفضة ، ولديها توحيد كيميائي عالٍ (مادة مخدرة موزعة بالتساوي في طبقة رقيقة) ، وشكل المواد مختلف. لذا فإن طريقة التبخر وطريقة الترشيش بالمغنيطرون وطريقة جل الجل هي الأكثر استخدامًا.

تركز الدراسة حول غشاء أكسيد التنغستن الرقيق بشكل أساسي على خواصها الكهرومغناطيسية ، ونادراً ما يتم إجراء بحث عن خواصها اللونية والكرومية. على الرغم من أن الأغشية الرقيقة بأكسيد التنغستن تستخدم كمستشعر للغاز في الماضي ، إلا أنها تستخدم تغيير المقاومة لاختبار تركيز الغاز الذي ينتمي إلى مستشعر شبه موصل. يحتاج إلى جهد إضافي للتسخين وقد ينزعج بسبب الموجة الكهرومغناطيسية ، والهيكل معقد ، وبالتالي فإن تطبيق مجس الغاز هذا محدود للغاية.

عندما تتلامس مادة الأغشية الرقيقة بأكسيد التنجستن مع الهيدروجين ، فإنها ستتغير لونها تحت درجة حرارة الغرفة ، فمن الواضح أن الخاصية البصرية للفيلم الرقيق تتغير. الهيدروجين هو نوع من الغاز القابل للاشتعال والقابل للاشتعال. عادةً من خلال اختبار المعلمة البصرية للفيلم الرفيع من أكسيد التنجستن ، يمكننا الحصول على تركيز الهيدروجين الذي من شأنه تجنب الظروف المغناطيسية وغيرها من الإزعاج من التدفئة والتضخيم ، مما يحسن سلامة مستشعر غاز الهيدروجين.