Meso مسامية WO3 الغاز الاستشعار

تم العثور على السيليكون المسامي في عام 1956 من قبل علماء في Bell Labs ، عندما كانوا يدرسون عملية تلميع التأكسد الأنودي. تتم آلية تشكيل تبادل شحنة السيليكون المسامية بين سطح أشباه الموصلات السيليكون ومحلول HF. وفقًا لأحجام الفتحة المختلفة ، يمكن تقسيم المسامية إلى ثلاثة أنواع ، وهي: الثقوب الكبيرة مثل السيليكون (Macro-PS) ، والسيليكا mesoporous (Meso-PS) والسيليكون nanoporous (Nano-PS).

مبدأ أجهزة استشعار الغاز على أساس غازات السيليكون التي يسهل اختراقها وتغيير الخصائص الفيزيائية لل PS القائم. يمتص سطح السيليكون المسامي تغييرا في جزيئات الغاز في تركيز ناقل حر ، أو بسبب التغيرات الناجمة عن ثابت عازلة آبار الغاز ، مما يسبب تغييرات في التوصيل أو السعة.

فيما يلي طريقة إنتاج مستشعر غاز أكسيد التنغستن المسامي المتوسط:

1. عملية الطلاء: قم بإصلاح ركيزة السليكون المسامية المعدة على حامل العينة ، ثم ابدأ في استخدام آلة الطلاء المغنطيسية الفراغية ذات الإرتفاع العالي نوع DPS من أجل نظام طلاء الأغشية الرقيقة.

2.Spttering أكسيد التنغستن فيلم رقيقة

3. وضع القطب الكهربائي

على الرغم من أن مستشعر الغاز WO3 من السيليكون المسامي يحتوي على درجة حرارة تشغيل منخفضة ، إلا أنه لا يمكن أن يتمتع بحساسية عالية ووقت استجابة / استرداد منخفض في نفس الوقت. يرتبط بالحجم الصغير من السيليكون المسامي وأكسيد التنغستن. حجم مسام السيليكا المسام في 30nm أو أقل ، وحجم الجسيمات WO3 بعد التلدين عند حوالي 70 نانومتر ، مما أدى إلى جزيئات WO3 البلورية بعد انسداد مسام السيليكا المسامية. عندما تكون طبقة WO3 رقيقة ، بدأت الجسيمات بعد المعالجة الحرارية تغطي سطح السيليكون ميسبوري ، ولكن ليس لملء الفراغات. هذا الهيكل من ناحية ، لا يفضي إلى انتشار الغاز ، ولكنه يقلل أيضًا من مساحة السطح المحددة لمستشعر الغاز.