تا مخدر أكسيد التنغستن فيلم رقيقة

تتميز WO3 بخصائص كهروميكانيكية ممتازة ، مثل كفاءة التلوين العالية والانعكاس ووقت الذاكرة الطويل. إنه يلعب دورًا مهمًا في البحث عن المواد والأجهزة الكهروميكانيكية. ومع ذلك ، يذوب WO3 في المنحل بالكهرباء من نوع البروتون ، مما يحد من تطبيقه في المنحل بالكهرباء من نوع البروتون للجهاز الكهربائي. تشير الأبحاث إلى أن المواد الكهروميكانيكية لأكسيد النانو المركب يمكن أن تحسن من استقرار الجهاز ، وتقصير وقت الاستجابة ، وتمديد فترة الحياة. يحتوي Ta2O5 على الموصلية الأيونية والبروتونية الممتازة ، كما أنه يتميز بالشفافية الممتازة في مدى الطول الموجي الواسع ، والاستقرار الحراري الجيد ، والاستقرار الميكانيكي والكيميائي الذي يشيع استخدامه في الأجهزة الكهروميكانيكية ذات الحالة الصلبة. لذلك ، ستجمع مرحلة Ta2O5 و WO3 المعقدة معاً بين مزايا مادتين ومن ثم تحقيق توافق ميكانيكي وكيميائي أعلى ، وبالتالي تحسين ثبات الجهاز وطول عمره.

ذكرت شركة Shim أن الفيلم الرقيق المركب بأكسيد النانو W-Ta يكون أكثر ثباتًا في الخاصية الكيميائية وإجراء البروتون من الفيلم الرقيق WO3 النقي. يمكن للفيلم الرفيع تا المنشط أن يحسن الخاصية الكهرومغناطيسية ، وثبات الدورة وقدرة التآكل الحمضي للأغشية الرقيقة بأكسيد التنغستن ، ولكن يجب التحكم في كمية المنشطات في نطاق معين. عندما تكون كمية المنشطات 5٪ -10٪ ، فإن الفيلم الرقيق المركب W1 T xTaxO3 سيكون له كفاءة تلوين أفضل. عندما تكون كمية المنشطات 15٪ ، فإن الخاصية الكهروكيميائية لـ W1 － xTaxO3 تساوي الغشاء الرقيق النقي WO3. الاستمرار