Sensore di gas

Esistono molti tipi di sensori di gas, a causa della diversa forma di struttura operativa tra gas e materiale, anche le reazioni fisiche, chimiche e biologiche sono diverse, quindi i metodi di classificazione sono diversi, per tipo di gas: componente di rilevazione dell'ossigeno, componente di sensibilizzazione dell'ammonio e componente rilevatore di alcol; per materiale base: ossido di metallo, semiconduttore polimerico organico, elettrolita solido; per metodo di lavoro: tipo secco e tipo bagnato; per struttura: sinterizzato, film sottile e film spesso; dal meccanismo di lavoro: tipo di resistenza, tipo capacitivo e tipo di elettrochimica.

WO3 è un tipo di materiale semiconduttore a ossido di metallo a struttura N, quando viene a contatto con il gas di prova, le variazioni di resistenza che determinano la modifica del segnale di uscita per testare i gas. WO3 ha un buon senso per H2S, Sox e NOx, quindi ha un grande potenziale. La tecnologia di deposizione per il film sottile WO3 e il relativo parametro di deposizione influiscono notevolmente sulla sensibilità del sensore di gas a film sottile. A causa del diverso metodo e condizione di produzione, la densità difettosa nel materiale a film sottile sarebbe diversa. Inoltre, quando si effettua il trattamento termico del materiale, cambia anche la dimensione del grano, ha una grande influenza sulla proprietà elettrica e sul tempo di reazione del gas per WO3.