Sensore di gas WO3 poroso in silicio poroso

Il silicio poroso a macroistruzione può essere prodotto da materiale di substrato che è drogato con struttura P con una superficie lucidata singola, orientamento cristallino <111>, resistenza specifica 8-13Ωcm, configurato con 40% HF e alcool etilico assoluto in proporzione 1: 1 dopo Corrosione elettrochimica di 30 minuti nella doppia scanalatura. Quando la densità di elettricità della corrosione è 20,30 e 40 mA / cm2, la porosità del silicio macro poroso è 50,0%, 63,9,7% e 66,7% che aumenta con la densità di elettricità. La superficie del silicio poroso a macroistruzione presenta una struttura macro porosa ovvia. La diffusione di macro porosa è uniforme, la dimensione è 1 ~ 2um, la parete dei pori è spessa. WO3 sputtered sulla superficie del silicio poroso macro sotto la densità di elettricità della corrosione 40mA / cm2 non copre il poro, invece è riempito nella parete laterale del poro e diventa film sottile continuo.

Lo spessore del silicio poroso macro si allarga con l'aumento della densità di elettricità della corrosione. Il silicio poroso ha una certa sensibilità verso NH3 e NO2 a temperatura ambiente. Il film sottile di ossido di tungsteno silicio a macro porosi ha una sensibilità simile a quella dell'NO2 della frazione di volume 200 × 10-9 e NH3 della frazione di volume 20 × 10-6 a temperatura elevata o bassa.