Film sottile di ossido di tungsteno drogato con Li

Dopo il drogaggio con perclorato di litio, lo spessore del film sottile di ossido di tungsteno è 270 nm, la sua proprietà è migliorata, il film diventa liscio e denso, la densità di carica superficiale aumenta, la differenza di assorbimento della luce prima e dopo lo scolorimento può raggiungere il 52,9%. Dopo il drogaggio, la temperatura cristallina non cambia, la temperatura di deposizione termica ottimale è ancora di 220 gradi Celsius.

Usando il microscopio elettronico a scansione per ingrandire le condizioni della superficie del campione di film sottile per 5,5k volte, si trova che lo spessore della sezione trasversale di ciascun campione è consistente, dal grafico sottostante possiamo vedere che dopo il drogaggio con perclorato di litio, media lo spessore del film sottile è di circa 2700nm. Rispetto al film sottile di ossido di tungsteno originale, il difetto sulla superficie del film sottile diminuisce, i pori quasi scompaiono, la sua densità in gran parte migliorata. Prendi la seguente tabella come esempio, che può mostrare chiaramente la superficie del film sottile di ossido di tungsteno dopo il drogaggio con perclorato di litio. Il campione n. 9 ha una buona densità apparente, ma ci sono troppe particelle bianche, può essere causato dalla precipitazione del perclorato di litio durante il processo di drogaggio. Nessun campione 10 non ha particelle bianche, ma ci sono alcuni piccoli pori e crepe sul film. Significa che il rapporto non è uniforme. La superficie del campione 15 ha una superficie liscia e non ci sono residui evidenti, la proprietà della superficie è ottima.