Metodo Sol-gel a film sottile con ossido di tungsteno
Il metodo Sol-gel tratta il metallo organico / inorganico in soluzione, sol-gel e quindi trattato termicamente e polimerizzato per formare un ossido o un composto solido. La preparazione del materiale a film sottile sol-gel ha un processo semplice, a basso costo, bassa sintetica, alta uniformità chimica (inclusi sostanze dopanti meglio distribuite uniformemente nel film), diversità di forma delle caratteristiche del materiale.
Il passo dell'utilizzo del metodo sol-gel per la produzione di film sottili di ossido di tungsteno è: preparazione del sale precursore, formazione di sol e film, essiccazione, trattamento termico. Il metodo Sol-gel che produce un film sottile di ossido di tungsteno può essere diviso come metodo di acido peroxopolytungstico, metodo di scambio ionico tungstato, soluzione salina di alcol di tungsteno e alcolizzazione del cloruro di tungsteno.
Metodo dell'acido perossidopolytungstico
Il metodo del sol-gel al perossido è uno dei metodi per la produzione di film sottili di ossido di tungsteno. Metallo in polvere di tungsteno reagito con perossido di idrogeno, il prodotto ottenuto è acido perossidico-tungstico fino a quando la polvere di tungsteno non ha reagito completamente. Dopo filtrazione, e quindi reagire con etanolo a basso punto di ebollizione, generando un derivato di estere perossidico di W, dopo di che viene ruotato con rivestimento o immersione in film sottile.
Soluzione salina alcolica al tungsteno
Gli alcossidi di tungsteno (ad es. W (OC2H5) 6) hanno reagito con un alcool di piccole molecole (ad esempio alcol T), generalmente usano l'azoto come gas protettivo e agitati per circa un'ora in un ultrasuono, si ottiene WO3 sol, e quindi immergendo il metodo di deposizione o spin coating, ponendo il campione nell'aria prima di ricorrere all'annealling per completare le reazioni di idrolisi e condensazione, e quindi dopo il trattamento di ricottura possiamo ottenere un film sottile di ossido di tungsteno. Le caratteristiche del metodo sono un'elevata purezza del film, ma tecniche di preparazione relativamente complesse e richiedono una condizione più complicata.
Metodo di scambio ionico tungstato
Aggiunta di resina di scambio nella colonna di scambio ionico dopo il trattamento con acido, quindi aggiunta di tungstato di sodio nella colonna di scambio ionico per sottoporsi al processo di scambio di kazione, dopo alcuni minuti si ottiene la soluzione di colore giallo trasparente. La soluzione è instabile che si aggregherebbe in gel in un paio d'ore. Dopo precipitato acido tungstico idratato, il film sottile di ossido di tungsteno è formato dal metodo di rivestimento a rotazione e dal metodo di immersione. L'aggiunta di una quantità appropriata di solvente organico, come alcol, acetone, ecc. Può stabilizzare il sol. Inoltre aggiungere una quantità appropriata di perossido di idrogeno ritardare la formazione di gel. Il vantaggio di questo metodo è che tutti i processi di produzione sono ottenuti a temperatura ambiente, non c'è nessuna decomposizione prodotta. Questo metodo può essere utilizzato per produrre un film spesso senza stress. Il sol è instabile, può formarsi rapidamente in un rivestimento di gel, è difficile controllare il tempo di ripresa e ciò comporta una bassa capacità di adesione del film.
Alcolizzazione del cloruro di tungsteno
Sotto protezione di N2, WCl6 reagisce completamente con un alcol, l'acido cloridrico generato durante la reazione viene portato via dall'azoto, gradualmente si ottiene la soluzione di alcossido di tungsteno, quindi aggiungendo una certa quantità di alcool e agente reticolante, mescolati sotto un atmosfera di azoto. Quindi formare una soluzione adatta per la produzione di film sottile di ossido di tungsteno mediante immersione o metodo di deposizione per centrifuga, infine dopo il trattamento termico si ottiene un film sottile di ossido di tungsteno.