Ricerca e sviluppo su film sottile di ossido di tungsteno

Il film sottile di ossido di tungsteno è un importante materiale funzionale a film sottile, ha un'ampia prospettiva applicativa nella vita commerciale, nella vita quotidiana e nella difesa nazionale.

Ci sono stati molti scienziati che fanno alcune ricerche sullo studio del film sottile di ossido di tungsteno, il suo metodo di produzione include: metodo di evaporazione, metodo sputtering, metodo sol-gel, metodo di evaporazione elettronica, metodo di deposizione per evaporazione chimica, processo di ossidazione anodica, metodo di pirolisi a spruzzo, metodo di epitassia a fascio molecolare, metodo di deposizione elettronica, metodo di deposizione ionica, ecc. La maggior parte dei metodi è complicata e difficile da trattare. Ma il metodo di sputtering e il metodo di evaporazione sono stabili, convenienti, veloci e il film sottile è uniforme. Il metodo Sol-gel è facile da produrre, il costo è basso, sintetizzato a bassa temperatura, ha un'elevata uniformità chimica (materiale drogato distribuito uniformemente in film sottile), la forma del materiale è varia. Quindi il metodo di evaporazione, il metodo di sputtering del magnetron e il metodo sol-gel sono principalmente applicati.

Lo studio sul film sottile di ossido di tungsteno si concentra principalmente sulla sua proprietà elettrocromica, raramente si ricerca per la sua proprietà gascronica e fotocromatica. Sebbene il film sottile di ossido di tungsteno sia usato come sensore di gas in passato, utilizza il cambiamento di resistenza per testare la concentrazione di gas che appartiene al sensore a semiconduttore. Ha bisogno di una tensione extra per riscaldarsi e può essere disturbato dall'onda elettromagnetica, la struttura è complicata, quindi l'applicazione di tale sensore di gas è piuttosto limitata.

Quando il materiale a film sottile di ossido di tungsteno entra in contatto con l'idrogeno, si scolorisce a temperatura ambiente, è ovvio che la proprietà ottica dei film sottili cambia. L'idrogeno è una specie di gas infiammabile e combustibile. Solitamente testando i parametri ottici del film sottile di ossido di tungsteno possiamo ottenere la concentrazione di idrogeno che eviterebbe il magnetismo e altre condizioni che disturbano il riscaldamento e il gonfiaggio, il che migliorerà la sicurezza del sensore di gas idrogeno.