เซ็นเซอร์ก๊าซ

มีเซ็นเซอร์ก๊าซหลายประเภทเนื่องจากรูปแบบการทำงานที่แตกต่างกันระหว่างก๊าซและวัสดุปฏิกิริยาทางกายภาพเคมีและชีววิทยาก็แตกต่างกันดังนั้นวิธีการจำแนกประเภทจึงแตกต่างกันตามประเภทของก๊าซ: ส่วนประกอบตรวจจับออกซิเจน องค์ประกอบการตรวจจับแอมโมเนียมและส่วนประกอบการตรวจจับแอลกอฮอล์ โดยวัสดุพื้นฐาน: โลหะออกไซด์โพลิเมอร์อินทรีย์กึ่งตัวนำอิเล็กโทรไลต์ที่เป็นของแข็ง; โดยวิธีการทำงาน: ประเภทแห้งและเปียก; โดยโครงสร้าง: ซินเตอร์, ฟิล์มบางและฟิล์มหนา; โดยกลไกการทำงาน: ประเภทตัวต้านทานชนิดตัวต้านทานและชนิดเคมีไฟฟ้า

WO3 เป็นวัสดุกึ่งตัวนำโลหะออกไซด์โครงสร้าง N ชนิดหนึ่งเมื่อสัมผัสกับก๊าซทดสอบความต้านทานจะเปลี่ยนไปซึ่งส่งผลให้เกิดการเปลี่ยนแปลงของสัญญาณขาออกเพื่อทดสอบก๊าซ WO3 มีความรู้สึกที่ดีสำหรับ H2S、 Sox และ NOx ดังนั้นจึงมีศักยภาพที่ดี เทคโนโลยีการสะสมสำหรับฟิล์มบาง WO3 และพารามิเตอร์การสะสมที่เกี่ยวข้องมีอิทธิพลอย่างมากต่อความไวสำหรับเซ็นเซอร์ก๊าซฟิล์มบาง เนื่องจากวิธีการและเงื่อนไขการผลิตที่แตกต่างกันความหนาแน่นที่มีข้อบกพร่องในวัสดุฟิล์มบางจะแตกต่างกัน นอกจากนี้เมื่อทำการรักษาความร้อนของวัสดุขนาดของเมล็ดพืชก็เปลี่ยนแปลงเช่นกันมันมีอิทธิพลอย่างมากต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและเวลาในการตอบสนองของแก๊สสำหรับ WO3