วิธีระเหยกลายฟิล์มบางของทังสเตนออกไซด์

การสปัตเตอร์หมายถึงการทิ้งอนุภาคพลังของพื้นผิวของแข็ง (เป้าหมาย) อะตอมของแข็ง (หรือโมเลกุล) ถูกปล่อยออกมาจากพื้นผิวและวางลงบนพื้นผิว มันเป็นชนิดของการสะสมไอทางกายภาพ ไอออนบวกสปัตเตอริงเกิดจากการปล่อยก๊าซในสนามไฟฟ้าของการทิ้งระเบิดความเร็วสูงเป็นเป้าหมายแคโทดเป้าหมายของอะตอมหรือโมเลกุลโดยการชนสร้างการถ่ายโอนโมเมนตัมเพื่อให้อะตอมผิวหรืออะตอมหลบหนีและปล่อย ชุบผิวชิ้นงานเพื่อสร้างฟิล์มที่ต้องการ

วิธีการสปัตเตอร์นั้นแบ่งออกเป็นวิธีสปัตเตอร์แบบกระแสตรง, RF สปัตเตอร์, สปัตเตอร์แมกนีตรอน, สปัตเตอร์ปฏิกิริยา, ความถี่กลางสปัตเตอร์สปัตเตอริ่ง อัตราการสะสมโดยแมกนีตรอนสปัตเตอริงเป็นก๊าซทำงานแรงดันสูงและต่ำและข้อดีอื่น ๆ ที่ไม่เหมือนใครทำให้กลายเป็นวิธีการทับถมของสปัตเตอร์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย

วิธีการสปัตเตอร์ RF และแมกนีตรอนสปัตเตอริงถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในการผลิตฟิล์มบางของ WO3 ฟิล์มบางทังสเตนออกไซด์ที่เตรียมโดยวิธีการสปัตเตอร์มีข้อดีของความเร็วในการขึ้นรูปฟิล์มอย่างรวดเร็วความบริสุทธิ์สูงความหนาแน่นสูงและการยึดเกาะและความแข็งแรงที่ดี ฯลฯ โดยการควบคุมความดันบรรยากาศและอุณหภูมิเพื่อให้ได้ฟิล์มบาง WO3 มีความซับซ้อนเกินกว่าที่จะควบคุมได้ความหนาของฟิล์มบางที่เตรียมไว้นั้นไม่สม่ำเสมอต้นทุนการผลิตสูง จำกัด การใช้งาน