เซ็นเซอร์ก๊าซมารูพรุนซิลิคอน WO3

ซิลิกอนรูพรุนแบบมาโครสามารถสร้างขึ้นได้โดยวัสดุพื้นผิวซึ่งเป็นโครงสร้าง P ที่มีพื้นผิวมันเงาเดียว, การวางแนวคริสตัล <111>, ความต้านทานเฉพาะคือ8-13Ωcm, กำหนดค่าด้วย 40% HF และเอธิลแอลกอฮอล์สัมบูรณ์ การกัดกร่อนทางเคมีไฟฟ้า 30 นาทีในร่องคู่ เมื่อความหนาแน่นไฟฟ้ากัดกร่อน 20、30 และ 40mA / cm2 ความพรุนของซิลิกอนรูพรุนมาโครคือ 50.0%、 63.9.7% และ 66.7% ซึ่งเพิ่มขึ้นตามความหนาแน่นของกระแสไฟฟ้า พื้นผิวของซิลิกอนรูพรุนมาโครปรากฏโครงสร้างของรูพรุนมาโครอย่างชัดเจน การแพร่กระจายของรูพรุนมาโครมีขนาดเท่ากันคือ 1 ～ 2um ผนังรูพรุนมีความหนา WO3 สปัตเตอร์บนพื้นผิวของมาโครซิลิกอนรูพรุนภายใต้ความหนาแน่นของการกัดกร่อนไฟฟ้า 40mA / cm2 ไม่ครอบคลุมรูขุมขน แต่เต็มไปที่ผนังด้านข้างของรูพรุนและกลายเป็นฟิล์มบางอย่างต่อเนื่อง

ความหนาของซิลิกอนรูพรุนมาโครจะขยายใหญ่ขึ้นเมื่อความหนาแน่นของไฟฟ้ากัดกร่อนเพิ่มขึ้น ซิลิคอนแบบพรุนมีความไวต่อ NH3 และ NO2 บางอย่างภายใต้อุณหภูมิห้อง ฟิล์มบางที่มีรูพรุนซิลิคอนทังสเตนออกไซด์มาโครมีความไวต่อ NO2 ของเศษส่วนปริมาตร 200 × 10-9 และ NH3 ของเศษส่วนปริมาตร 20 × 10-6 ภายใต้อุณหภูมิสูงหรืออุณหภูมิต่ำ