Makro Gözenekli Silikon WO3 Gaz Sensörü

Makro gözenekli silikon, tek cilalı yüzeye katkılı P yapısı, kristal oryantasyonu <111>, özgül direnci 8-13Ωcm,% 40 HF ve mutlak etil alkol ile oran 1: 1 oranında yapılandırılmış alt tabaka malzemesi ile yapılabilir Çift oyukta 30 dakikalık elektrokimyasal korozyon. Korozyon elektrik yoğunluğu 20、30 ve 40mA / cm2 olduğunda, makro gözenekli silikonun gözenekliliği% 50.0 、% 63.9.7 ve% 66.7'dir ve bu da elektrik yoğunluğu ile artar. Makro gözenekli silikonun yüzeyi açık makro gözenekli yapı olarak görülür. Gözenekli makroların yayılması homojendir, boyut 1, 2um, gözenek duvarı kalındır. Korozyon elektrik yoğunluğu 40mA / cm2 altında makro gözenekli silikonun yüzeyine sıçramış WO3, gözeneği örtmez, bunun yerine gözeneklerin yan duvarına doldurulur ve sürekli ince film haline gelir.

Makro gözenekli silikonun kalınlığı, korozyon elektrik yoğunluğunun artmasıyla artar. Gözenekli silikon, oda sıcaklığında NH3 ve NO2'ye karşı belirli bir duyarlılığa sahiptir. Makro gözenekli silikon tungsten oksit ince film, yüksek sıcaklıkta veya düşük sıcaklıkta, hacimsel fraksiyon 200 × 10-9'un NO2 ve hacimsel fraksiyonun 20 x 10-6'lık NH3'üne benzer duyarlılığa sahiptir.