Tungsten Oksit İnce Film Araştırma ve Geliştirme

Tungsten oksit ince film, önemli bir fonksiyonel ince film malzemesidir, ticari, günlük yaşam ve ulusal savunma alanlarında geniş bir uygulama beklentisine sahiptir.

Tungsten oksit ince filmin çalışması üzerine pek çok bilim insanı araştırma yapmış, üretim yöntemi şunları içermektedir: buharlaştırma yöntemi, püskürtme yöntemi, sol-jel yöntemi, elektron buharlaştırma yöntemi, kimyasal buharlaşma biriktirme yöntemi, anodik oksidasyon süreci sprey piroliz yöntemi, moleküler ışın epitaksi yöntemi, elektron biriktirme yöntemi, iyon biriktirme yöntemi, vb. Yöntemlerin çoğu karmaşıktır ve işlenmesi zordur. Ancak püskürtme yöntemi ve buharlaştırma yöntemi stabil, uygun, hızlı ve ince film tek biçimlidir. Sol-gel yönteminin üretilmesi kolaydır, üretim maliyeti düşüktür, düşük sıcaklık altında sentezlenir, yüksek kimyasal homojenliğe sahiptir (ince filmde eşit şekilde katkılı katkılı malzeme), malzemenin şekli çeşitlidir. Bu yüzden buharlaşma yöntemi, magnetron püskürtme yöntemi ve sol-gel yöntemi en çok uygulanan yöntemdir.

Tungsten oksit ince filmi üzerinde yapılan çalışma, esas olarak elektrokromik özelliğine odaklanır, nadiren gazkromik ve fotokromik özelliği için araştırmalar yapılır. Tungsten oksit ince film geçmişte gaz sensörü olarak kullanılmasına rağmen, yarı iletken sensöre ait olan gaz konsantrasyonunu test etmek için direnç değişimini kullanır. Isınması için ekstra voltaj gerekir ve elektromanyetik dalga tarafından rahatsız edilebilir, yapı karmaşıktır, bu yüzden bu gaz sensörünün uygulaması oldukça sınırlıdır.

Tungsten oksit ince film malzemesi hidrojenle temas ettiğinde, oda sıcaklığında renk değiştirecektir, ince filmin optik özelliğinin değiştiği açıktır. Hidrojen bir çeşit yanıcı ve yanıcı gazdır. Genellikle, tungsten oksit ince filminin optik parametresini test ederek, manyetik gazın ve diğer koşulların ısıtma ve şişmeden rahatsız olmasını engelleyen hidrojen konsantrasyonunu elde edebiliriz, bu da hidrojen gazı sensörünün güvenliğini artırabilir.