Tungsten Oksit İnce Film Sol-gel Yöntemi
Sol-gel yöntemi çözelti içinde metal organik / inorganik muameleye tabi tutulur, sol - gel ve daha sonra bir oksit veya katı bir bileşik oluşturmak üzere ısıl işlemden geçirilir ve kürlenir. Sol-gel ince film malzemesinin hazırlanması, basit bir işlem, düşük maliyetli, düşük sentetik, yüksek kimyasal tekdüzeliliğe sahiptir (filmde daha iyi homojen şekilde dağılmış doping maddeleri dahil), malzeme özelliklerinin şekil çeşitliliği vardır.
Tungsten oksit ince filmi üretmek için sol-gel yönteminin kullanılması adımı: öncü tuzun hazırlanması, sol ve filmin oluşturulması, kurutma, ısıl işlem. Tungsten oksit ince filmi üreten sol-jel yöntemi, peroksopolitungstik asit yöntemi, tungstat iyon değiştirme yöntemi, tungsten alkol salin çözeltisi ve tungsten klorürün alkolleştirilmesi olarak ayrılabilir.
Peroksopolitungstik asit yöntemi
Peroksit sol - jel yöntemi, tungsten oksit ince film üretme yöntemlerinden biridir. Metal tungsten tozu, hidrojen peroksit ile reaksiyona sokuldu, elde edilen ürün, tungsten tozu tamamen reaksiyona girene kadar peroksi tungstik asittir. Süzüldükten sonra, düşük kaynama noktasına sahip etanol ile reaksiyona sokulur, W'nin bir peroksi ester türevi üretilir, bunun ardından dönerek kaplanır veya ince filme daldırılır.
Tungsten alkol salin çözeltisi
Küçük moleküllerden oluşan bir alkolle (örneğin T alkolü) reaksiyona giren Tungsten alkoksitler (örneğin, W (OC2H5) 6), genellikle koruyucu gaz olarak nitrojen kullanılır ve bir ultrasonda yaklaşık bir saat çalkalanır, elde edilen WO3 ve sonra biriktirme veya sıkma kaplama yöntemini daldırma yoluyla, hidroliz ve yoğuşma reaksiyonlarını tamamlamak için tavlamadan önce numuneyi havada bırakarak ve tavlama işleminden sonra tungsten oksit ince filmi elde edebiliriz. Yöntemin özellikleri yüksek saflıkta bir filmdir, ancak nispeten karmaşık hazırlama teknikleridir ve daha karmaşık bir koşul gerektirir.
Tungstat iyon değişimi yöntemi
Asit muamelesinden sonra iyon değişim kolonuna değişim reçinesi eklenir, daha sonra birkaç dakika sonra şeffaf sarı solüsyon elde edilir, değişim değişim işleminden geçmesi için iyon değişim kolonuna sodyum tungstat ilave edilir. Çözelti kararsızdır ve birkaç saat içinde jele toplanır. Çökeltilmiş hidratlanmış tungstik asitten sonra, tungsten oksit ince filmi döndürerek kaplama yöntemi ve daldırma yöntemi ile oluşturulur. Alkol, aseton vb. Gibi uygun bir miktarda organik çözücü eklemek, solu stabilize edebilir. Ayrıca uygun miktarda hidrojen peroksit ekleyerek jel oluşumunu geciktirin. Bu yöntemin avantajı, tüm üretim işlemlerinin oda sıcaklığında elde edilmesidir, üretilen hiçbir bozulma yoktur. Bu yöntem stressiz kalın bir film üretmek için kullanılabilir. Sol kararsız, hızlı bir şekilde jel kaplaması oluşturabilir, düşük film yapışma kapasitesiyle sonuçlanan filme süresini kontrol etmek zordur.
Tungsten klorürün alkollenmesi
N2'nin koruması altında, bir alkol ile tamamen reaksiyona giren WCl6, reaksiyon sırasında oluşan hidrojen klorit azotla uzaklaştırılır, yavaş yavaş tungsten alkoksit çözeltisi elde edilir, sonra belirli bir miktarda alkol ve çapraz bağlama maddesi eklenir, azot atmosferi. Daha sonra, tungsten oksit ince filminin daldırma veya döndürme biriktirme yöntemiyle üretilmesi için uygun bir çözelti oluşturur, sonunda ısıl işlemden sonra tungsten oksit ince film elde edilir.