TiO2とAgをドープした酸化タングステン薄膜

酸化タングステン膜はエレクトロクロミック特性を有することがわかったので、広く研究されてきた。しかし、単一物質によるカラーフィルムの性能ではまだ実用的な要件を満たすことができないため、多くの研究者が薄膜のエレクトロクロミック特性を改善するために多くの研究を行ってきました。

ＴｉＯ ２薄膜は、酸化タングステン薄膜エレクトロクロミック装置におけるイオン伝導層として使用され、それをＷＯ ３薄膜中にドーピングすることによってそのエレクトロクロミズムを改善することができる。ほとんどの研究者は、ゾル - ゲル法を使用してTiO2をドープした酸化タングステン薄膜を製造していますが、品質が悪く、割れやすく、ドーピング量が制限されています。

純酸化タングステン膜、複合酸化タングステン、ドープ酸化タングステン薄膜では、透過率曲線の環境安定性が徐々に向上します。膜の粗さは、ＴｉＯ ２およびＡｇのドーピングにより拡大する。 ＴｉＯ ２の存在により、ＷＯ ６八面体はＴｉＯ ６で置換され、ポリアニオン構造の無秩序化をもたらし、ドープされた薄膜は安定な非晶質状態を有し、薄膜中のＷ ４＋の含有量を増加させる。一方、粗さが増すと、Ｌｉイオン注入の容量も増大し、それによって有機カラーフィルムの効率が向上する。さらに、銀層はマグネトロン法でスパッタされているため、酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミック効率は52.85％向上します。