酸化タングステン薄膜電気化学堆積法

電気化学析出は液相法の一種であり、電流下で電解質電解、電極の表面に薄膜が形成されます。電気化学堆積法は長い歴史を持っている、技術は比較的成熟している。金属電気化学堆積処理技術は、１９世紀初頭にすでに現れていた。

電気化学析出法で作製されたWO 3薄膜の基本プロセスは、タングステン粉末を溶解し、次に過剰のH 2 O 2を取り除き、次に電解質溶液を得てから自然析出法を使用することです。作用極としてPtを塗布し、対極として他の物質を使用してください。蒸着に電流を加えると、Pt電極上にWO 3薄膜が得られます。

WO 3フィルムを製造するための「改良された電気化学堆積法」の使用、およびフィルムへの酸素処理、および酸素処理後のフィルムの電気化学的性質、特に赤外線反射率の影響。この方法はTi基板の表面上のWO 3薄膜の調製に用いられる。電気化学堆積法を用いて多くの種類の金属酸化物を含むWO 3薄膜を製造し、そのエレクトロクロミック特性は純粋なWO 3薄膜よりも優れている。他の方法と比較して、電気化学析出法は装置に対する単純な要求があり、制御が容易であり、被覆薄膜は均一であり、被覆面積の影響により複合薄膜の調製に適用でき、得られたWO 3薄膜は小さいです。