酸化タングステン薄膜の研究開発

酸化タングステン薄膜は重要な機能性薄膜材料であり、それは商業、日常生活および国防において広い用途の見込みを有する。

多くの科学者が酸化タングステン薄膜の研究に関して少数の研究をしてきました、その製造方法は含まれています：蒸着法、スパッタリング法、ゾル - ゲル法、電子蒸着法、化学蒸着法、陽極酸化プロセス、スプレー熱分解法、分子線エピタキシー法、電子蒸着法、イオン蒸着法など。これらの方法の大部分は複雑で処理が難しい。しかし、スパッタリング法と蒸着法は安定しており、便利で、速く、そして薄膜は均一である。ゾル - ゲル法は製造が容易で、製造コストが安く、低温で合成され、化学的均一性が高い（薄膜に均一に拡散したドープ材料）、材料の形状は様々です。そのため、蒸着法、マグネトロンスパッタリング法、ゾル - ゲル法が主に使用されています。

酸化タングステン薄膜に関する研究は、主にそのエレクトロクロミック特性に焦点が当てられており、そのガスクロミック特性およびフォトクロミック特性についての研究はほとんどありません。酸化タングステン薄膜はこれまでガスセンサとして使用されてきましたが、半導体センサに属する試験ガス濃度に対する抵抗の変化を利用しています。それは加熱するのに余分な電圧を必要とし、電磁波によって妨害されるかもしれず、構造が複雑であるので、そのようなガスセンサーの適用はかなり限られている。

酸化タングステン薄膜材料が水素と接触すると、室温下で変色します。薄膜の光学特性が変化することは明らかです。水素は一種の可燃性および可燃性ガスです。通常、酸化タングステン薄膜の光学パラメータをテストすることで、水素ガスセンサの安全性を向上させる、磁気やその他の条件が加熱や膨張を妨げるのを避ける水素濃度を得ることができます。