ガスセンサー

多くの種類のガスセンサーがあります、ガスと材料の間の異なった働く構造形のために、物理的、化学的および生物学的反応もまた異なります、それで分類方法はガスの種類によって異なります：酸素検知部品アンモニウム検知成分およびアルコール検知成分。基礎材料：金属酸化物、有機ポリマー半導体、固体電解質。働く方法によって：乾式および湿式。構造によって：焼結、薄膜および厚膜。働くメカニズムによって：抵抗器のタイプ、容量性タイプおよび電気化学のタイプ。

ＷＯ ３は一種のＮ構造金属酸化物半導体材料であり、それが試験ガスと接触すると、抵抗が変化し、それが試験ガスのための出力信号の変化をもたらす。 WO 3は、H 2 S、Sox、およびNOxに対して優れた意味を持つため、大きな可能性があります。 WO 3薄膜の堆積技術および関連する堆積パラメータは、薄膜ガスセンサの感度に大きな影響を与えます。製造方法および製造条件が異なるため、薄膜材料の欠陥密度は異なります。材料の熱処理をした場合も粒径が変化し、WO 3の電気的特性やガス反応時間に大きな影響を与えます。