ドープフィルム

単一の純粋な物質からなるフィルム材料は、実際のニーズを満たさないことが多いため、その機能を強化するためにドープされ改質されています。ドーピングの効果は多面的であり、膜の機械的、電気的、光学的、化学的、構造的および形態学的特性は、ドーピング材料の種類およびドーピング含有量によって異なる。本質的に、ドーピングは不純物レベルとエネルギーバンドの変化を引き起こし、結晶のキャリア濃度を変え、そして結晶構造を歪める。

三酸化タングステン膜の異なる元素のドーピングは明らかにその特性のいくつかを改善するでしょう、例えば、ある範囲内のドーピング含有量のパラジウムまたは白金の後、水素に対する膜の感度と選択性は改善されるでしょう。さらに、応答時間が大幅に短縮され、リチウムドーピング後の三酸化タングステン膜のエレクトロクロミック性能が大幅に改善され、特に着色および退色速度が加速され、ドーピング銀が二酸化硫黄ガスに対する三酸化タングステン膜の感度を改善することができる。後者のＷＯ 3中の欠陥は減少するであろう； ＮｉおよびＣｏをドープした後のＷＯ 3フィルムの分極電圧は減少しそしてフィルムの安定性が増加するであろう。