Sensor de gas
Hay muchos tipos de sensores de gas, debido a la forma de estructura de trabajo diferente entre el gas y el material, las reacciones físicas, químicas y biológicas también son diferentes, por lo que los métodos de clasificación son diferentes, por tipos de gas: componente sensor de oxígeno, componente sensorial de amonio y componente sensorial de alcohol; por material de base: óxido de metal, polímero orgánico semiconductor, electrólito sólido; por método de trabajo: tipo seco y tipo húmedo; por estructura: sinterizado, película delgada y película gruesa; Mecanismo de trabajo: tipo de resistencia, tipo capacitivo y tipo de electroquímica.
El WO3 es un tipo de material semiconductor de óxido de metal de estructura N, cuando entra en contacto con el gas de prueba, la resistencia cambia lo que resulta en el cambio de la señal de salida para probar los gases. WO3 tiene un buen sentido para H2S 、 Sox y NOx, por lo que tiene un gran potencial. La tecnología de deposición para la película delgada WO3 y el parámetro de deposición relacionado tienen una gran influencia en la sensibilidad para el sensor de gas de película delgada. Debido a los diferentes métodos y condiciones de producción, la densidad defectuosa en el material de película delgada sería diferente. Además, al realizar el tratamiento térmico del material, el tamaño del grano también cambia, tiene una gran influencia en las propiedades eléctricas y el tiempo de reacción del gas para WO3.