Película delgada dopada con óxido de tungsteno
La propiedad del material de película delgada compuesta por una sola sustancia por lo general no puede cumplir el requisito real, por lo que la película delgada de óxido de tungsteno dopado con diferentes elementos mejorará algunas de sus características, incluida la mecánica, electricidad, óptica, química y estructura o morfología También será diferente por cantidad de dopaje y diferente material de dopaje. En esencia, el dopaje causará cambios en el nivel de energía y la banda de energía de las impurezas, también la concentración de cristal del portador, lo que resulta en el cambio de la estructura cristalina.
La película delgada de óxido de tungsteno con elemento dopado mejorará en gran medida algunas de sus propiedades. Por ejemplo, después de doparse con una cierta cantidad de Pt y Pd, la película delgada sensible al hidrógeno mejorará y reducirá el tiempo de reacción. La película delgada de óxido de tungsteno dopado con Li mejorará su propiedad electrocrómica, especialmente la velocidad de coloración y decoloración. La película delgada de óxido de tungsteno dopado con Ag aumentará la sensibilidad para el SO2. La película delgada de óxido de tungsteno dopado con TiO2 reducirá su defecto. La película delgada de óxido de tungsteno dopada con Ni y Co disminuirá su voltaje de polarización, lo que aumentará la estabilidad.