Película delgada de óxido de tungsteno dopada con li

Después de dopar con perclorato de litio, el espesor de la película delgada de óxido de tungsteno es de 270 nm, su propiedad mejora, la película se vuelve suave y densa, la densidad de carga de la superficie aumenta, la diferencia de absorción de la luz antes y después de la decoloración puede alcanzar el 52.9%. Después del dopaje, la temperatura cristalina no cambia, la temperatura óptima de deposición térmica sigue siendo de 220 grados Celsius.

Usando un microscopio electrónico de barrido para ampliar la condición de la superficie de la muestra de película delgada 5,5k veces, se encuentra que el grosor de la sección transversal de cada muestra es consistente, de la siguiente tabla podemos ver que después del dopaje con perclorato de litio, el promedio espesor de la película delgada es de alrededor de 2700nm. En comparación con la película delgada de óxido de tungsteno original, el defecto en la superficie de la película delgada disminuye, los poros casi desaparecen y su densidad mejora en gran medida. Tome el siguiente cuadro como ejemplo, que puede mostrar claramente la superficie de la película delgada de óxido de tungsteno después de dopar con perclorato de litio. No 9 muestra tiene buena densidad aparente, pero hay demasiadas partículas blancas, puede ser causada por la precipitación de perclorato de litio durante el proceso de dopaje. La muestra No 10 no tiene partículas blancas, pero hay algunos pequeños poros y grietas en la película. Significa que la relación es desigual. La superficie de la muestra 15 tiene una superficie lisa y no hay residuos evidentes, la propiedad de la superficie es excelente.