Método del sol-gel de película delgada de óxido de tungsteno

El método sol-gel consiste en tratar metal orgánico / inorgánico en solución, sol-gel y luego se trata con calor y se cura para formar un óxido o un compuesto sólido. La preparación del material de película delgada sol-gel tiene un proceso simple, bajo costo, bajo sintético, uniformidad altamente química (incluyendo sustancias dopantes mejor distribuidas uniformemente en la película), diversidad de forma de las características del material.

El paso de usar el método sol-gel para producir una película delgada de óxido de tungsteno es: preparación de la sal precursora, formación de sol y película, secado, tratamiento térmico. El método sol-gel que produce la película delgada de óxido de tungsteno se puede dividir como el método del ácido peroxopolítico, el método de intercambio iónico de tungstato, la solución salina de alcohol de tungsteno y la alcoholización del cloruro de tungsteno.

Método del ácido peroxopolióstico

El método de sol - gel de peróxido es uno de los métodos para producir película delgada de óxido de tungsteno. El polvo de tungsteno metálico reaccionó con el peróxido de hidrógeno, el producto obtenido es ácido tungstico peroxi hasta que el polvo de tungsteno reacciona completamente. Después de la filtración, y luego reaccionar con etanol de bajo punto de ebullición, generando un derivado de éster peroxi de W, después de lo cual se reviste por centrifugación o se sumerge en una película delgada.

Solución salina de alcohol de tungsteno

Los alcóxidos de tungsteno (p. ej., W (OC2H5) 6) reaccionaron con un alcohol de moléculas pequeñas (p. ej., alcohol T), generalmente utilizan nitrógeno como gas protector, y se agitan durante aproximadamente una hora en un ultrasonido, se obtiene el sol WO3, y luego sumergiendo el método de deposición o revestimiento por centrifugación, colocando la muestra en el aire antes del recocido para completar las reacciones de hidrólisis y condensación, y luego, después del tratamiento de recocido, podemos obtener una película delgada de óxido de tungsteno. Las características del método son una alta pureza de la película, pero técnicas de preparación relativamente complejas, y requieren una condición más complicada.

Método de intercambio iónico de tungstato

Agregar resina de intercambio a la columna de intercambio iónico después del tratamiento con ácido, luego agregar tungstato de sodio a la columna de intercambio iónico para someterse al proceso de intercambio catiónico, luego de varios minutos se obtiene la solución amarilla transparente. La solución es inestable que se agregaría al gel en un par de horas. Después de precipitar el ácido tungstico hidratado, se forma una película delgada de óxido de tungsteno mediante el método de recubrimiento por centrifugación y el método de inmersión. Agregar una cantidad apropiada de solvente orgánico, como alcohol, acetona, etc. puede estabilizar el sol. También agregue una cantidad apropiada de peróxido de hidrógeno para retrasar la formación de gel. La ventaja de este método es que todos los procesos de fabricación se obtienen a temperatura ambiente, no se produce descomposición. Este método se puede utilizar para producir una película gruesa sin estrés. El sol es inestable, puede formar un recubrimiento de gel rápidamente, es difícil controlar el tiempo de filmación, lo que resulta en una baja capacidad de adhesión de la película.

Alcoholización del cloruro de tungsteno

Bajo la protección de N2, WCl6 reaccionó completamente con un alcohol, el cloruro de hidrógeno generado durante la reacción se elimina con nitrógeno, se obtiene gradualmente la solución de alcóxido de tungsteno, luego se agrega una cierta cantidad de alcohol y agente de reticulación, se mezclan bajo una Atmósfera nitrogenada. Luego, forme una solución adecuada para producir una película delgada de óxido de tungsteno por inmersión o método de deposición por centrifugación, finalmente, después del tratamiento térmico, se obtiene una película delgada de óxido de tungsteno.