Sensor de gas macro poroso de silicio WO3

El material de sustrato puede fabricar silicio macroporoso con una estructura P dopada con una superficie pulida única, con orientación de cristal <111>, la resistencia específica es 8-13Ωcm, configurada con 40% HF y alcohol etílico absoluto en proporción 1: 1 después 30 minutos de corrosión electroquímica en la doble ranura. Cuando la densidad de la electricidad de corrosión es de 20、30 y 40mA / cm2, la porosidad del silicio macro poroso es de 50.0% a 63.9.7% y 66.7%, lo que aumenta con la densidad de electricidad. La superficie del silicio macro poroso presenta una estructura macroporosa evidente. La extensión de la macro porosa es uniforme, la dimensión es de 1 ～ 2um, la pared del poro es gruesa. El WO3 pulverizado en la superficie del silicio macro poroso bajo la densidad de la electricidad de corrosión 40mA / cm2 no cubre el poro, sino que se llena en la pared lateral del poro y se convierte en una película delgada continua.

El grosor del silicio macro poroso aumenta con el aumento de la densidad de la electricidad de corrosión. El silicio poroso tiene cierta sensibilidad hacia NH3 y NO2 a temperatura ambiente. La película delgada de óxido de tungsteno de silicio macro poroso tiene una sensibilidad similar hacia el NO2 de la fracción de volumen 200 × 10-9 y el NH3 de la fracción de volumen 20 × 10-6 ya sea a alta o baja temperatura.