Óxido de tungsteno película fina investigación y desarrollo

La película delgada de óxido de tungsteno es un importante material funcional de película delgada, tiene una amplia perspectiva de aplicación en la vida comercial, diaria y nacional.

Muchos científicos han realizado algunas investigaciones sobre el estudio de la película delgada de óxido de tungsteno; su método de producción incluye: método de evaporación, método de sputtering, método sol-gel, método de evaporación de electrones, método de deposición por evaporación química, proceso de oxidación anódica, método de pirólisis por aspersión, método de epitaxia por haz molecular, método de deposición de electrones, método de deposición de iones, etc. La mayoría de los métodos son complicados y difíciles de procesar. Pero el método de pulverización y el método de evaporación son estables, convenientes, rápidos y la película delgada es uniforme. El método de sol-gel es fácil de producir, el costo de producción es bajo, se sintetiza a baja temperatura, tiene una alta uniformidad química (material dopado distribuido uniformemente en película delgada), la forma del material es variada. Por lo tanto, el método de evaporación, el método de pulverización magnetrón y el método sol-gel son los más aplicados.

El estudio sobre la película delgada de óxido de tungsteno se centra principalmente en su propiedad electrocrómica, rara vez se investiga su propiedad gaschromic y photochromic. Aunque en el pasado se utilizó película delgada de óxido de tungsteno como sensor de gas, utiliza el cambio de resistencia para probar la concentración de gas que pertenece al sensor semiconductor. Necesita la tensión adicional para calentar y puede ser perturbada por una onda electromagnética, la estructura es complicada, por lo que la aplicación de dicho sensor de gas es bastante limitada.

Cuando el material de película delgada de óxido de tungsteno entra en contacto con el hidrógeno, se decolora a temperatura ambiente, es obvio que la propiedad óptica de la película delgada cambia. El hidrógeno es un tipo de gas inflamable y combustible. Por lo general, al probar el parámetro óptico de la película delgada de óxido de tungsteno, podemos obtener la concentración de hidrógeno que evitaría que las condiciones magnéticas y de otra índole se perturben por el calentamiento y el inflado, lo que mejorará la seguridad del sensor de gas de hidrógeno.