Sensor de gás

Existem muitos tipos de sensores de gás, devido à forma diferente de estrutura de trabalho entre gás e material, a reação física, química e biológica também são diferentes, então os métodos de classificação são vários, por tipos de gás: componente sensor de oxigênio, componente sensor de amio e componente sensel ao cool; por material de base: óxido de metal, semicondutor de polímero orgânico, eletrólito sólido; pelo método de trabalho: tipo seco e tipo molhado; por estrutura: sinterizado, filme fino e filme espesso; por mecanismo de trabalho: tipo de resistor, tipo capacitivo e tipo de eletroquímica.

O WO3 é um material semicondutor de óxido metálico de estrutura N, quando entra em contato com o gás de teste, as mudanças de resistência que resultam na alteração do sinal de saída para testar os gases. O WO3 tem um bom senso para H2S 、 Sox e NOx, por isso tem um grande potencial. A tecnologia de deposição para o filme fino WO3 e o parâmetro de deposição relacionado têm grande influência na sensibilidade do sensor de gás de filme fino. Devido ao diferente método e condição de produção, a densidade defeituosa no material de película fina seria diferente. Além disso, ao fazer o tratamento térmico do material, o tamanho do grão também muda, ele tem grande influência na propriedade elétrica e no tempo de reação do gás para o WO3.