Pesquisa e desenvolvimento de filmes finos de óxido de tungstênio

A película fina de óxido de tungstênio é um importante material de película fina funcional, tem uma ampla perspectiva de aplicação na vida comercial, diária e na defesa nacional.

Houve muitos cientistas fazer algumas pesquisas sobre o estudo da película fina de óxido de tungstênio, seu método de produção inclui: método de evaporação, método de sputtering, método sol-gel, método de evaporação de elétrons, método de deposição de evaporação química, processo de oxidação anódica, método de pirólise por pulverização, método de epitaxia por feixe molecular, método de deposição de elétrons, método de deposição de íons, etc. A maioria dos métodos é complicada e difícil de ser processada. Mas o método de sputtering e o método de evaporação são estáveis, convenientes, rápido e o filme fino é uniforme. Sol-gel método é fácil de produzir, produzindo custo é baixo, sintetizado sob baixa temperatura, tem alta uniformidade química (material dopado espalhar uniformemente em película fina), forma do material é vário. Assim, o método de evaporação, o método de pulverização catódica e o método sol-gel são os mais utilizados.

O estudo sobre o filme fino de óxido de tungstênio é focado principalmente em sua propriedade eletrocrômica, raramente há pesquisas para sua propriedade fotocrômica e gascrômica. Embora o filme fino de óxido de tungstênio seja usado como sensor de gás no passado, ele usa a mudança de resistência para testar a concentração de gás que pertence ao sensor semicondutor. Ele precisa da voltagem extra para aquecer e pode ser perturbado por ondas eletromagnéticas, a estrutura é complicada, então a aplicação desse sensor de gás é bastante limitada.

Quando o material de película fina de óxido de tungstênio entrar em contato com o hidrogênio, ele irá descolorir sob temperatura ambiente, é óbvio que a propriedade ótica do filme fino muda. O hidrogênio é um tipo de gás inflamável e combustível. Normalmente, ao testar o parâmetro óptico da película fina de óxido de tungstênio, podemos obter a concentração de hidrogênio que evitaria que as condições magnéticas e outras perturbassem o aquecimento e o inflamento, o que melhoraria a segurança do sensor de gás hidrogênio.