Filme fino de óxido de tungstênio dopado com Li

Após a dopagem com perclorato de lítio, a espessura da película fina de óxido de tungsténio é 270 nm, a sua propriedade é melhorada, a película torna-se suave e denso, a densidade de carga superficial aumenta, a diferença de absorção de luz antes e depois da descoloração pode atingir 52,9%. Após a dopagem, a temperatura cristalina não muda, a temperatura ideal de deposição térmica ainda é de 220 graus Celsius.

Usando o microscópio eletrônico de varredura para ampliar a condição superficial da amostra de filme fino por 5,5k vezes, verifica-se que a espessura da seção transversal de cada amostra é consistente, do gráfico abaixo podemos ver que após a dopagem com perclorato de lítio, média espessura de filme fino é em torno de 2700nm. Em comparação com a película fina de óxido de tungsténio original, o defeito na superfície da película fina diminui, os poros quase desaparecem, a sua densidade melhorou em grande parte. Tome o gráfico abaixo como exemplo, que pode mostrar claramente a superfície da película fina de óxido de tungstênio após a dopagem com perclorato de lítio. Não 9 amostra tem boa densidade aparente, mas há muitas partículas brancas, pode ser causada pela precipitação de perclorato de lítio durante o processo de doping. Não 10 amostra não tem partículas brancas, mas existem alguns pequenos poros e rachaduras no filme. Isso significa que a proporção é desigual. A superfície da amostra 15 tem superfície lisa e não há resíduo óbvio, a propriedade da superfície é ótima.