Sensor de gás macro poroso do silicone WO3

O silício macroporoso pode ser feito por material substrato que é estrutura P dopada com superfície polida única, orientação de cristal <111>, resistência específica é 8-13Ωcm, configurada com 40% HF e álcool etílico absoluto em proporção 1: 1 após 30 minutos de corrosão eletroquímica na dupla ranhura. Quando a densidade de eletricidade da corrosão é de 20、30 e 40mA / cm2, a porosidade do silício macro poroso é de 50,0% 、 63,9,7% e 66,7%, o que aumenta com a densidade de eletricidade. A superfície do silício macro poroso parece óbvia estrutura macro porosa. A propagação do macro poroso é uniforme, a dimensão é 1 ～ 2um, a parede do poro é espessa. WO3 sputtered na superfície de silício macro poroso sob corrosão densidade de eletricidade 40mA / cm2 não cobrir o poro, em vez disso, é preenchido na parede lateral dos poros e torna-se película fina contínua.

A espessura do silício macro poroso aumenta com o aumento da densidade de eletricidade por corrosão. O silício poroso tem uma certa sensibilidade para NH3 e NO2 sob temperatura ambiente. A película fina de óxido de tungstênio de silício macro poroso tem sensibilidade semelhante para NO2 da fração de volume 200 × 10-9 e NH3 da fração de volume 20 × 10-6 sob alta temperatura ou baixa temperatura.