Film mince d'oxyde de tungstène dopé au lithium

Après dopage au perchlorate de lithium, l'épaisseur du film mince d'oxyde de tungstène est de 270 nm, sa propriété est améliorée, le film devient lisse et dense, la densité de charge en surface augmente, la différence d'absorption de la lumière avant et après la décoloration peut atteindre 52,9%. Après dopage, la température cristalline ne change pas, la température optimale de dépôt thermique est toujours de 220 degrés Celsius.

En utilisant un microscope électronique à balayage pour zoomer l’état de surface d’un échantillon de film mince pendant 5,5k fois, il a été constaté que l’épaisseur de la section transversale de chaque échantillon est cohérente. Le graphique ci-dessous montre que, après dopage au perchlorate de lithium, la moyenne l'épaisseur du film mince est d'environ 2700nm. Par rapport au film mince d'origine en oxyde de tungstène, le défaut à la surface du film mince diminue, les pores disparaissent presque et sa densité est grandement améliorée. Prenez comme exemple le tableau ci-dessous, qui montre clairement la surface d'un film mince d'oxyde de tungstène après dopage au perchlorate de lithium. L'échantillon n ° 9 a une bonne densité apparente, mais s'il y a trop de particules blanches, cela peut être dû à la précipitation de perchlorate de lithium pendant le dopage. Aucun échantillon n'a pas de particules blanches, mais il y a quelques petits pores et fissures sur le film. Cela signifie que le rapport est inégal. La surface de l'échantillon 15 a une surface lisse et il n'y a pas de résidu évident, la propriété de surface est excellente.